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光刻机

光刻机

光刻机是用来制造芯片的。光刻机又被叫作掩膜对准曝光机，在芯片生产中用以光刻工艺，而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步，所以光刻机又是芯片生产中不可缺失的装置。以我国现在的实力当然有能力生产光刻机。不过，目前中国能够量产的光刻机性能最好的是90nm光刻机，和荷兰ASML公司最先进的5nm光刻机仍具有极大的区别。

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