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半导体立式炉中，氧传感器的检测响应时间要求是多少？

上海高传电子科技有限公司
2026-04-28
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1个回答

上海高传电子科技有限公司

2026-04-28

通常要求响应时间≤10秒，确保能快速捕捉炉内氧浓度变化，及时反馈给控制系统，避免工艺偏差。
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