固定式气体检测仪在半导体工厂能检测哪些特殊气体？

2025-08-11

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2025-08-11

半导体工厂常用的特殊气体如硅烷、磷化氢等，斯柯森固定式气体检测仪均能精细监测。其 SKSG-S 系列配备电化学传感器，对硅烷的检测量程达 0-5ppm，分辨率 0.01ppm；磷化氢检测范围 0-10ppm，响应时间≤10 秒。设备采用惰性材料采样管路，避免气体与管路反应影响检测精度，且传感器具备抗中毒设计，长期接触低浓度腐蚀性气体也不易失效。支持与工厂的 FMCS 系统对接，当气体浓度超标时，自动切断气源阀门，防止晶圆生产受污染。

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