洁净室的压缩空气系统如何确保洁净度?与洁净室等级的匹配关系。

2025-08-01
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2025-08-01

压缩空气需经过多级过滤(前置过滤器→精密过滤器→除菌过滤器),达到 ISO 8573-1:2010 的 1-2-1 级(固体颗粒≤0.1μm,水含量≤-70℃露点,油含量≤0.01mg/m³)。与洁净室等级匹配原则:A 级区需配套 Class 1 级压缩空气,B/C 级区可采用 Class 2 级,通过终端过滤器接入使用点,定期检测微生物和粒子浓度。

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