三氯氧磷扩散（POCl3）在半导体领域主要有哪些用途？

2025-07-22

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2025-07-22

在半导体制造中，POCl3 用途广阔。它常被用作掺杂剂，在制造 n 型（负型）掺杂区域时，将磷原子引入硅片，从而改变硅片的电学性能。在扩散工艺里，POCl3 作为磷原子的来源，能够精确控制掺杂浓度和分布，制造出性能稳定的半导体器件，比如集成电路、晶体管、二极管等。同时，在化学气相沉积（CVD）过程中，POCl3 可用于生长二氧化硅（SiO2）薄膜，为半导体器件的制造提供重要的基础材料。

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