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蔡司电镜的技术参数和规格有哪些？

2024-07-31
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2024-07-31

蔡司电镜有多种型号，不同型号的技术参数和规格会有所差异，以下是一些常见蔡司电镜型号的主要技术参数： - **蔡司Sigma 300热场扫描电镜**： - 分辨率：1.0nm@15kV，1.6nm@1kV； - 放大倍率：10～1000000x； - 加速电压：0.02～30kV； - 样品台比较大行程：x=125mm，y=125mm，z=50mm，t=-10°～90°，r=360°。 - **蔡司Sigma 500场发射扫描电镜**： - 分辨率：0.8nm@30kV STEM，0.8nm@15kV，1.4nm@1kV； - 放大倍数：10-1000000×； - 加速电压：调整范围0.02-30kV（无需减速模式实现）； - 探针电流：3pA～20nA（100nA选配），稳定性优于0.2%/h； - 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500VP 可用）； - 样品室：358mm（φ），270.5mm（h）； - 样品台：5轴优中心全自动，x=130mm，y=130mm，z=50mm，t=-4°－70°，r=360°； - 系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制； - 存储分辨率：32kx24k pixels。 - **蔡司Gemini 450场发射扫描电镜**： - 二次电子分辨率：15kV@0.7nm；1kV@1.1nm（非减速模式）； - 分析分辨率：15kV@2.0nm（5nA，工作距离8.5mm）； - 背散射电子分辨率：1kV@1.2nm； - 放大倍数：12～2000000倍； - 电子枪类型：肖特基场发射灯丝，比较大束流40nA。 - **蔡司Sigma 300场发射扫描电镜**： - 分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV）； - 加速电压：20V～30kV，连续可调，无需模式更换； - 电子枪：肖特基热场发射电子枪； - 电子束流：比较大束流不小于20nA； - 放大倍数：10～1000000（底片放大倍率），根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准；
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