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上海微电子取得成功研制开发的是22纳米级其他光刻机，它是在依靠外界紫外光的功效下能得到取得成功表明出屏幕分辨率的，尽管这和ASML的5纳米级其他光刻机对比或是具有着较大的一段距离，可是有这种的成绩已是十分可喜的了。

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