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IG2 型离子源系统适合哪些薄膜改性？

2026-03-12
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2026-03-12

宽束离子源用于基底清洗、膜层致密化、离子辅助沉积、表面改性，提升膜基结合力与致密度。适合半导体前驱清洗、超导缓冲层、光学膜、阻隔层处理，离子能量与束流可调，兼容多种真空系统。
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