磁控溅射靶源如何选择适配半导体工艺?

2026-03-12
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2026-03-12

科睿设备有限公司提供金属、合金、陶瓷、氧化物等定制靶源,配合 RF/DC 磁控,满足导体 / 半导体 / 绝缘体沉积。靶材纯度高、冷却高效、使用寿命长,可匹配不同尺寸腔体与均匀性要求,保障半导体电极、介质、功能膜稳定制备。

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