金属表面处理真空镀膜膜层表面出现颗粒或缺陷，原因呢？

2025-10-31

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2025-10-31

金属表面处理真空镀膜膜层出现颗粒或缺陷，主因有三：一是靶材起弧，金属液滴飞溅，需降低功率密度、优化磁场，并装弧抑制器；二是真空室粉尘与泵油回流，沉积后脱落，应定期做金属表面处理级无尘擦拭，并用捕集阱过滤；三是基材清洗不彻底，残胶、指印受热挥发成核，必须等离子预清洗5min。每班检查靶面、过滤挡板，及时更换老化密封圈，可把金属表面处理颗粒密度控制在≤5/cm²，缺陷率下降70%，保障后续金属表面处理良品率。

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