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真空等离子清洗机的真空泵有几种?该如何选择?

2022-03-07
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3个回答

匿名用户

2022-03-07

  干式螺杆真空泵,干式螺杆真空泵是利用一对螺杆,在真空泵壳中作同步高速反向旋转,从而产生作用力来实现吸气和排气功能的真空泵。因为干式螺杆真空泵在工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,所以在工作腔无需润滑油。干式螺杆真空泵是一款性能优秀的干式真空泵,具有许多比其他真空泵好的地方:第一,干式螺杆真空泵的极限真空度很高,最高极限真空可达到1-2Pa;第二,干式螺杆真空泵性能稳定,噪音低,故障率低,维护简单;第三,干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层,可适应恶劣工况。

匿名用户

2022-03-07

  干式真空泵,干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流体充当工作介质的一种真空泵。这样使得干式真空泵在洁净度方面更好,防止了油污染,所以干式真空泵大多用在对洁净度要求比较高的真空等离子清洗机上,比如说半导体领域、生物医疗领域以及航天航空领域等。在真空等离子清洗机上常用的一种干式真空泵就是干式螺杆真空泵。

匿名用户

2022-03-07

  旋片式真空泵,旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵,其主要的部件有泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等。旋片式真空泵有单级和双级两种,等离子清洗机常用的是双级旋片式真空泵,所谓双级旋片式真空泵就是在结构上将两个单级泵串联起来。旋片式真空泵的泵腔内偏心地装有一个转子,而转子的外圆与泵腔的内表面相切,同时转子槽内装有两个带弹簧的旋片。转子旋转时,靠离心力和弹簧的弹力使旋片顶端与泵腔体内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片式真空泵利用两个旋片将泵腔体分为3个部分,因为转子是偏心安装的,所以被分成的3个部分的空间会随着转子旋转而变化,利用压强差来达到抽气的目的。

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