3、静压差不同级别的洁净室与非洁净室之间不能小于5Pa,洁净室与室外不能小于10Pa等等一系列要求。控制静压差的方法,主要是供给一定的正压风量,设计常采用的正压装置为余压阀、压差式电动风量调节器和回风口处装设空气阻尼层。近年来,设计中常采用不设正压装置而在初调试中,使送风量大于回风量和排风量的方式,并相应配设自动控制系统也能达到同样效果。4、气流洁净室的气流形式是保证洁净度级别的关键因素。SICOLAB目前设计中经常采取的气流形式是依据洁净度级别来确定的。如30万级的洁净室常采用顶送顶回的方式,10万级及1万级的洁净室设计通常采用上送下侧回的气流方式,则采用水平或垂直单向流的方式。5、温湿度除...