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辽宁真空镀膜设备厂6

来源: 发布时间:2021-06-13

【光谱分光不良的补救(补色)之机器故障和人为中断】: 分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。 中断的原因形式之机器故障和人为中断: 模拟:根据已经实镀的镜片(测试比较片)实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值,再根据已经掌握的膜系信息输入,采用倒推法逐层优化,模拟出实际镀制的膜系数据。 *测试比较片是指随镜片一起镀制(在伞片上、与镜片同折射率),用于测试镀后分光曲线的平片。 优化:再锁定通过模拟得到的膜系数据,通过后续层膜厚优化找到实现目标的Zui佳方案。 试镀:根据新优化的后续膜层数据,试镀若干镜片或测试片,确认补色膜系的可行性。 补色镀:对试镀情况确认后实施补色镀。补色镀前,确认基片是否洁净,防止产生其他不良。 真空镀膜设备的应用。辽宁真空镀膜设备厂6

【真空镀膜真空溅射法】: 真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。 主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。 辽宁真空镀膜设备厂6PVD真空镀膜设备公司。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内色斑】: 色斑(也称膜色亚克、烧蚀)是指镜片上的膜色局部变异。有膜内色斑和膜外色斑二种。 膜内色斑改善对策: 1. 加快研磨(抛光)到镀膜的周期,减少镜片被污染服饰的几率,注意:是镜片的全部抛光面。 2. 抛光加工中,注意对另一已抛好光的面保护 3. 注意抛光加工中的工装、夹具、加工方法,以免造成对镜片表面局部腐蚀伤害 4. 抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂志附着干结。 5. 控制研磨抛光液的PH值 6. 镀膜前,用抛光粉或碳酸钙粉对镜片抛光面复新。 7. 加强镀前的离子轰击 8. 对于可见光区减反膜,在满足技术要求的前提下设计制作成单峰形,反射色呈淡绿色,掩盖色斑。 9. 对于化学性能较好的镜片,在清洗前先用退膜液或稀酸液侵泡去除腐蚀斑 10. 选择合适的膜层匹配对色斑改善也有帮助 11. 提高基片镀制时的温度,加快水汽的彻底挥发。 12. 第yi层镀上Al2O3膜层一般会有好的改善效果。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕(膜伤)】: 划痕是指膜面内外有道子,膜内的称划痕,膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症,虽然很清楚产生的原因和改善方法,但难以**。 产生原因: 膜内划痕: 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密,搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具、包装材料造成镜片表面擦伤 5. 超声波清洗造成的伤痕 膜外伤痕(膜伤): 1. 镜片的摆放器具、包装材料造成的膜伤。 2. 镀后超声波清洗造成的膜伤。 3. 各作业过程作业过失造成的膜伤。 改善对策: 1. 强化作业员作业规范 2. 订立作业过失清单,监督作业员避免作业过失 3. 改善镜片摆放间隔 4. 改善镜片搬运方法 5. 改善摆放器具、包装材料 6. 改善超声波清洗工艺参数 7. 加强前工程检验和镀前检查 成都真空镀膜设备厂家有哪些?

【真空镀膜溅射种类】: 1、反应溅射:氧化物,氮化物作为沉积物质 现象:①:靶材分子分裂,其于工艺气体离子发生反应,形成化合物 ②:膜层性能改变 ③:靶材有可能中毒 2、二极溅射:二极溅射是一种经典的标准溅射技术,其中等离子体和电子均只沿着电场方向运动。 特征:①:无磁场 ②:溅射率低 ③:放电电压高(>500V) ④:镀膜底物受热温度极易升高(>500°C) 用途:主要用于金属靶材、绝缘靶材、磁性靶材等的溅射镀。 3、磁控溅射:暗区无等离子体产生,在磁控溅射下,电子呈螺旋形运动,不会直接冲向阳极。而是在电场力和磁场力的综合作用在腔室内做螺旋运动。同时获的能量而和工艺气体以及溅射出的靶材原子进行能量交换,使气体及靶材原子离子化,dada提高气体等离子体密度,从而提高了溅射速率(可提高10—20倍)和溅射均匀性。 红外真空镀膜设备制造商。辽宁真空镀膜设备厂6

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【真空镀膜改善薄膜应力】: 1. 镀后烘烤,Zui后一层膜镀完后,烘烤不要马上停止,延续10分钟“回火”。让膜层结构趋于稳定。 2. 降温时间适当延长,退火时效。减少由于真空室内外温差过大带来的热应力。 3. 对高反膜、滤光膜等在蒸镀过程中,基片温度不宜过高,高温易产生热应力。并且对氧化钛、氧化钽等膜料的光学稳定性有负面影响。 4. 镀膜过程离子辅助,减少应力。 5. 选择合适的膜系匹配,第yi层膜料与基片匹配。 6. 适当减小蒸发速率。 7. 对氧化物膜料全部充氧反应镀,根据不同膜料控制氧进气量。 辽宁真空镀膜设备厂6

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