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广西ito真空镀膜设备

来源: 发布时间:2021-05-17

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕(膜伤)】: 划痕是指膜面内外有道子,膜内的称划痕,膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症,虽然很清楚产生的原因和改善方法,但难以**。 产生原因: 膜内划痕: 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密,搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具、包装材料造成镜片表面擦伤 5. 超声波清洗造成的伤痕 膜外伤痕(膜伤): 1. 镜片的摆放器具、包装材料造成的膜伤。 2. 镀后超声波清洗造成的膜伤。 3. 各作业过程作业过失造成的膜伤。 改善对策: 1. 强化作业员作业规范 2. 订立作业过失清单,监督作业员避免作业过失 3. 改善镜片摆放间隔 4. 改善镜片搬运方法 5. 改善摆放器具、包装材料 6. 改善超声波清洗工艺参数 7. 加强前工程检验和镀前检查 真空镀膜设备厂家有哪些?广西ito真空镀膜设备

【真空镀膜真空溅射法】: 真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。 主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。 广西ito真空镀膜设备真空镀膜设备升级改造。

【真空镀膜设备之涡轮分子泵】: 涡轮分子泵:涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。主要用于高真空或超高真空,属于干泵,极限真空10&7~10&8Torr,烘烤后可到10&10Torr,抽速可从50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速转动的涡轮转子携带气体分子而获得高真空、超高真空的一种机械真空泵。泵的转速为10000转/分到50000转/分,这种泵的抽速范围很宽,但不能直接对大气排气,需要配置前级泵。分子泵抽速与被抽气体的种类有关,如对氢的抽速比对空气的抽速大20%。

【真空镀膜设备的分类】: 这个问题如果在十年之前,其实是很容易回答的,就是两个大类,物理沉积设备和化学沉积设备。现在这样回答也是没错的,但现在再这样回答就没办法把事情说清楚了,所以从应用领域上可以分成以下几类: 传统光学器件(镜片,滤光片)所用的镀膜设备:单腔体或多腔体蒸发式镀膜设备,溅射式镀膜设备。 新材料领域的柔性设备:卷对卷柔性镀膜设备。 光通讯行业:离子束溅射镀膜设备。 半导体及相似工艺:化学气相沉积设备。 功能膜:多弧离子镀设备,溅射设备,蒸发设备 玻璃工艺:溅射式连续线 其余的就得归到“工艺定制设备”这个范围里面了,例如车灯镀膜设备,太阳能的共蒸发设备,光纤镀膜设备,太阳能管设备等等 真空镀膜设备的工作原理和构成。

【光谱分光不良的补救(补色)之停电】: 分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。 中断的原因形式之停电: 对于停电这种情况,比较好处理,只要确认前面镀的没错,程序没有用错,就可以继续原来的程序,要注意的是:如果某一层镀了一部分继续镀下去时,交接处要减少一些膜厚(根据膜料、蒸发速率决定减少多少,一般时0.2~1nm左右),如果该层剩下的膜厚不足15~20秒蒸镀时,要考虑降低蒸发速率或干脆不读,通过后续层调整膜厚解决。 真空镀膜设备公司排名。广西ito真空镀膜设备

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【离子镀的历史】: 真空离子镀膜技术是近几十年才发展起来的一种新的镀膜技术。在离子镀技术兴起的40多年来取得了巨大的进步,我国也有将近30多年的离子镀研究进程。 【离子镀的原理】: 蒸发物质的分子被电子撞击后沉积在固体表面称为离子镀。蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生辉光放电。由于 真空罩内充有惰性氩气,在放电电场作用下部分氩气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表 面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。随后,接通蒸发源交流电源,蒸发料粒子熔化蒸发,进入辉光放电区并 被电离。带正电荷的蒸发料离子,在阴极吸引下,随同氩离子一同冲向工件,当抛镀于工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘 附于工件表面的镀层。 【离子镀的优缺点】: 优点:膜层附着力好,膜层致密,具有绕度性能,能在形状复杂的零件表面镀膜。 缺点:离子镀的应用范围不广;膜与基体间存在较宽的过渡界面。会有气体分子吸附。广西ito真空镀膜设备

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